RCH® Steamer ‘02 系列
蒸汽发生器
用于精确流量蒸汽发生与输送的一体化设备
最大流量：50 标准升 / 分钟（slm）
RCH 蒸汽发生器将洁净蒸汽发生器与蒸汽纯化组件集成于一体。液路中所有接触液体的部件均为石英或特氟龙 ® 材质；纯化蒸汽流路部件采用石英与特氟龙 ® 接头及阀门。
与其他所有蒸汽技术相比，RCH 蒸汽发生器经证实可提升氧化生长速率、腔体均匀性、薄膜质量，并降低运行成本。
测试表明，67 种不同金属杂质可降至检出限以下，部分污染物验证低于0.0005ppb，同时可去除尿素、氮与二氧化碳。
由于 RCH 蒸汽发生器在低压下使用水蒸气，可将不锈钢输送系统替换为石英与含氟聚合物管路系统。
核心两大组件
RCH 蒸汽发生器：将去离子水转化为大流量、超高纯（UHP）水蒸气。
RCH SPA 纯化组件：通过选择性去除溶解气体、金属与颗粒物至检出限以下，将洁净蒸汽纯化至超高纯（UHP）蒸汽。
产品优势
RCH 蒸汽发生器是唯一可由去离子水提供可控超高纯蒸汽输送的系统，核心优势如下：
高纯度：专利在途技术去除挥发物、离子污染物与其他杂质，纯度等同于或优于氢氧燃烧热解蒸汽。
高良率：无孔膜拦截金属、碳氢化合物与颗粒，输出极致纯净蒸汽。
高产能：7×24 小时无人值守连续运行；去除氢、氧载气，生长速率提升最高 10%；大流量下无热解炬式热累积。
高安全性：氧化工艺无需氢气、氧气，消除易燃易爆风险；工作温度远更低（＜125℃，对比＞500℃）。
低拥有成本：省去昂贵的氢氧使用与存储；运行成本低、回本快，无需热解炬式冷却。
高通用性：适配宽范围流量与压力等级。
工作原理
加热器将去离子水转化为蒸汽。
RCH SPA 内的无孔亲水膜对蒸汽进行纯化，选择性仅允许水蒸气通过；对氮分子选择性最高达 1,000,000 倍。气相中膜选择性透过水分子，大幅截留其他分子，可在蒸汽相中去除水中溶解气体、离子、总有机碳、尿素、颗粒、病毒、细菌、热原与金属。
通过严密监测与自动调节上下游压力控制流量。
调节加热器功率提升或降低流量。
持续监测并调节水位，确保蒸汽连续输出。
产品规格
水蒸气流量最高50 slm
自动液位 / 补水控制
真空至 1200 托（0–23 psia）
手动 + 自动双模式
PLC 驱动
远程 + 本地控制
二级温度控制回路
上下游压力传感
专利在途蒸汽流量控制
吹扫 / 排空功能
集成纯化单元
纯化性能数据（单位：ppb）
表格
检测项 去离子水源 纯化前蒸汽 纯化后蒸汽
总金属 19.8 0.15 0.009
总有机碳 1200 380 22
总二氧化硅 28 4.3 0.7
尿素 2200 48 2.6
铵 1.468 1.117 0.116
安装要求
环境温度：20–40℃
湿度：30%–90%，无冷凝
适用环境：Class 1000 洁净室或设备机柜
防护：避免周边工艺设备漏水影响本机
外形尺寸：宽 370mm× 深 375mm× 高 400mm（14.6″×14.76″×15.7″）
重量：约 13.6kg（25 磅）
需从正面接入水源、排空与工艺蒸汽输出。
型号参数
表格
型号 最小流量（slm） 最大流量（slm） 电流 电压 水耗（15psig） 仪表空气
102B-25 2.5 25 10A 200–240V 70ml/min 60psig
102B-50 5 50 20A 200–240V 80ml/min 60psig
配置代码
表格
代码 选项说明
O 标准机柜
SC 分离式机柜：电子单元可远离蒸汽柜最远 6 英尺（2 米）
V 真空至常压输送：蒸汽纯化器下游工艺线配置 316L 不锈钢压力传感器，可控制真空与常压流量，不受大气压波动影响
A 常压输送：专为常压工艺设计，下游压力由设备机柜内压力决定
示例：流量 2.5–25slm、208VAC、分离机柜、常压输送 → 型号：102B-25-SCA
可选配件
硅橡胶加热带：防止输送管路蒸汽冷凝
去离子水组件（100195）
输送管路组件
接口定义
接口 说明 规格与推荐管路
A 电源开关 开关
B 电气连接 Tyco Type VII
C 远程接口 DB15 针
D 仪表空气 1/4″ 快插管：PFA、PTFE、聚烯烃
E 工艺阀气动口 4mm（5/32″）快插管：PTFE 或聚烯烃
F 系统排空 1/4″ 外螺纹扩口：PFA 或 PTFE
G 辅助加热带 额定电压下＜200W
H 去离子水入口 1/4″ 卡套管：高压 PFA
I工艺蒸汽出口 1/2″ 外螺纹扩口：高压 PFA